パーティクルカウンター標準は、ピーク標準偏差が非常に狭い NIST 追跡可能なサイズ標準を必要とするレーザーパーティクルカウンターおよび液体パーティクルカウンターの較正に特に使用されます。パーティクルカウンター標準は、サイズトレーサビリティのために NIST SRMN サイズ標準を参照してナノメートル単位で較正された、非常に均一なポリスチレンマイクロスフィアです。当社では以下のナノメートル参照を使用し、1 nm = 0.001 µm としています。また、電子顕微鏡および原子間力顕微鏡の較正用に 40nm ～ 2000nm のシリカ粒子も提供しています。パーティクルカウンター標準は、KLA および Hitachi ウェーハ検査システムの較正に使用される PSL ウェーハ標準の製造にも使用されます。パーティクルカウンター標準は、レーザーパーティクルカウンターのサイズ応答を較正するためにエアロゾルサイズチャレンジを作成するために使用されます。サイズ較正または表面走査検査システム (SSIS) は、半導体業界の要件です。100 nm ～ 100 ミクロンの範囲のサイズ標準は、希釈せずにボトルから直接使用できます。粒子サイズ標準は、その粒子サイズと LPC (レーザー粒子カウンター) での使用に正確な要件に合わせて希釈されます。キャリブレーション テストの設定には最小限の時間しかかかりません。球の直径は、NIST SRM サイズ標準へのトレーサビリティを備えてキャリブレーションされています。粒子カウンター標準は、15 ミリリットル (mL) ボトルの脱イオン水溶液にパッケージ化されています。球の密度は 1.05 g/cm3、屈折率は 1.59 ℃ で測定して 589 nm で 25 です。粒子カウンター標準の各ボトルには、NIST へのキャリブレーションおよびトレーサビリティの証明書が同梱されており、キャリブレーション方法とその不確実性の説明、および化学的および物理的特性の表が含まれています。ポリスチレン ラテックス ビーズにはロット番号が付けられており、販売後の技術サービスとサポートに便利です。
$395.00
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