半導体製造や医薬品製造などのクリーンルーム環境では、汚染物質を一切持ち込まずに、極めて精密な気流マッピングが求められる。
当社のAP35超高純度噴霧器は、まさにこの要件に対応します。
このシステムは液体窒素(LN2)と高純度水を用いて作動し、高密度で中性浮力の霧を生成する。
これにより、施設は完全な3D気流モデリングを実行し、デッドゾーンを特定し、クリーンルームの動特性を検証することができ、しかも残留物を一切残しません。
AP35超高純度噴霧器の技術的仕組み
高密度出力と視距離
このシステムは液体窒素を気化させ、加熱した脱イオン水(DI水)、滅菌水、または注射用水(WFI)と混合する。 結果として生じる反応は 5.5立方メートル 毎分あたりの霧の量。

AP35は毎分571mlの連続噴霧密度で動作するため、オペレーターは20~30フィートの視界を確保できる。 結果として 霧のしずく 直径が2~3ミクロンであるため、床に落下することなく、既存の気流の中で中性的に浮遊することができる。
残留物ゼロの蒸発
標準的な噴霧器は、 グリコール法または超音波法 クリーンルームの表面に膜や微粒子状の物質を残す可能性がある。 AP35は液体窒素と純水のみで動作します。

霧が晴れると、完全に自然の空気成分、つまり窒素、酸素、水素に戻ります。 施設管理者は生産を一時停止する必要はありません スケジュール機器 煙調査実施後の清掃作業。
クリーンルームに関する規制遵守
気流可視化には国際規格への厳格な準拠が求められる 検査ガイドラインAP35の高純度出力は、直接的なコンプライアンスに対応します。
- USP 797 現場気流分析
- ISO 14644-3、付録B7
- 連邦規格 209E
- ISO規格14644-1および14644-2

途切れることのない高密度の煙調査を提供することにより、監査員と 施設エンジニア 空気の侵入状況を追跡し、ISOスイート全体の空気圧を均一化し、標準的なビデオ録画によって空気の流れの方向を正確に記録することができます。
主な仕様と性能データ
このハードウェアは、大規模施設における長期間のテストサイクルに対応できるように設計されています。以下に、AP35システムの主要な運用指標の内訳を示します。
| システム仕様 | パフォーマンス指標 |
|---|---|
| フォグボリューム | 毎分5.5立方メートル以上 |
| 霧の密度 | 毎分571ml |
| 目視気流距離 | 20に30フィート |
| 連続運転時間 | 約70分 |
| 総液体容量 | 40 リットル (35 L LN2 + 5 L DI/WFI 水) |
| 基礎工事 | 316L電解研磨ステンレス鋼 |
| 可動性 | 車輪付きステンレス製フレーム(トロリー) |
規制産業における実践的な応用
半導体製造
半導体工場ではクラス1から10,000のクリーンルームが稼働しており、そこでは単一の渦流が 粒子 感度の高いウェハーに対して。

AP35はこれらの渦流を視覚的に強調表示することで、エンジニアが自動ウェハ搬送システム、ツール筐体、および従業員出入口付近の換気問題を修正することを可能にします。
医薬品ISOスイートおよび医療室
バリアアイソレーターや無菌調剤室は、生物学的汚染を防ぐためにバランスの取れた空気の流れに依存している。

AP35のデュアル80mmフォグ出力は、広範囲に蒸気のカーテンを広げます。 バイオセーフティキャビネット. これにより、長期的な無菌処理を中断することなく、作業台上の乱流を容易にマッピングできる。
システム構成と制御
AP35はモジュール式のステンレス製キャスター付きカートに収納されて出荷され、電源システムと液体システムが一体化されています。 オペレーターは、手動流量バルブまたはオプションのワイヤレスリモコンを使用して、霧の量と速度を調整します。

70分間の試験時間全体を通して性能を維持するため、システムにはバルブの凍結を防ぐための液体窒素流量制御装置が内蔵されています。
結論
AP35超高純度フォガーは、無菌環境における重要な気流マッピングのための、大容量かつ汚染のないソリューションを提供します。
高密度の、 中性浮力の霧 表面に残留物が残るリスクを冒すことなく、国際規格への完全な準拠を保証します。
このシステムは、精度と長期的な生産稼働率を重視する施設管理者にとって、依然として不可欠なツールである。
よくある質問(FAQ)
1. AP35 は XNUMX 回の充填でどのくらいの時間動作しますか?
このシステムは、約70分間連続して高密度の霧を噴霧します。この持続時間により、技術者は補充のために作業を中断することなく、広いクリーンルーム全体にわたって徹底的な3D気流マッピングを実施できます。
2. この霧は精密電子機器にとって安全ですか?
はい、AP35は液体窒素と精製水(DI水または注射用水)のみを使用します。霧は蒸発すると自然の空気成分に戻るため、半導体ウェハーや精密な実験機器に膜や微粒子が残ることはありません。
3. 標準的な運転に必要な作動油は何ですか?
本装置には、液体窒素(LN2)35リットルと高純度水5リットルが必要です。これら2つの要素を組み合わせることで、ISOクラス1からクラス10,000までの環境に必要な超高純度蒸気が生成されます。
4. 煙の実験中に霧の発生量を調整することはできますか?
オペレーターは、手動流量弁またはオプションのワイヤレスリモコンを使用して、噴霧量と噴霧速度の両方を制御できます。この柔軟性は、小型のバイオセーフティキャビネットと大型のオープンフロア型クリーンルームエリアを切り替える際に非常に重要です。

