NIST標準標準物質の粒子サイズ校正

NIST SRM粒子サイズ標準は、非常に正確なサイジング、狭いサイズピーク、狭い標準偏差を備えたNIST SRM（サイズ参照材料）サイズ標準を必要とするアプリケーションで使用するために世界中で知られているキャリブレーション標準です。 これらは、光散乱装置、電子顕微鏡、微分移動度分析装置など、さまざまな粒子サイズ測定装置の較正と検証に使用できます。 これらは、シリコンウェーハ上の欠陥を検出および特性評価するために使用される表面スキャン検査システムのキャリブレーションに特に重要です。 デバイスの小型化に不可欠な高スループットで費用対効果の高いウェーハ生産のために、スキャンシステムを開発および進歩させるには、正確な参照粒子が必要です。 参照粒子は、エアロゾル機器のテスト用の単分散（シングルサイズピーク）粒子の供給にも使用でき、エアロゾルの反応速度の検査と粒子検出器の応答の評価に役立ちます。

モード直径の認証値：

60 nm SRM 1964 ポリスチレンミクロスフェアは60.39nmで、拡張された不確かさは±0.63nmです。

100 nm SRM 1963A ポリスチレンミクロスフェアは101.8nmで、拡張された不確かさは±1.1nmです。

269 nm SRM 1691 ポリスチレンミクロスフェアは269nmで、拡張された不確かさは±4nmです。

895 nm SRM 1690 ポリスチレンミクロスフェアは895nmで、不確かさは±5nmに拡大しています。

測定は、微分移動度分析を使用して実行され、空気中のHe-Neレーザー波長632.807 nmを追跡できます。これは、長さの基本的な基準に関して決定されています。

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