パーティクルカウンター標準、100 nm〜100ミクロン、レーザーパーティクルカウンターキャリブレーション固有の濃度

MSDS：ポリスチレンラテックスミクロスフェア、100nm〜10ミクロン、パーティクルカウンター標準、ポリスチレンラテックスビーズ、粒子サイズ標準用ミクロスフェア

パーティクルカウンタースタンダードは、ピークスタンダード偏差が非常に狭いNISTトレーサブルサイズスタンダードを必要とするレーザーパーティクルカウンターおよび液体パーティクルカウンターを校正するために特に使用されます。 パーティクルカウンター標準は、サイズのトレーサビリティのためにNIST SRMサイズ標準を参照して、ナノメートル以内で校正された非常に均一なポリスチレンミクロスフェアです。 以下のナノメートル基準を使用し、1 nm = 0.001 µmです。 また、電子顕微鏡および原子間力顕微鏡の校正用に40nmから2000nmのシリカ粒子を提供しています。 パーティクルカウンタ標準は、KLAおよび日立ウェーハ検査システムのキャリブレーションで使用されるPSLウェーハ標準を作成するために追加で使用されます。 パーティクルカウンター標準は、レーザーパーティクルカウンターのサイズ応答を較正するためのエアロゾルサイズチャレンジを作成するために使用されます。 サイズ校正または表面スキャン検査システムであるSSISは、半導体業界の要件です。 100 nmから100ミクロンの範囲のサイズ標準は、希釈せずにボトルから直接使用できます。 粒子サイズ標準は、そのサイズの粒子の正確な要件に希釈され、LPC、レーザー粒子カウンターで使用されます。 キャリブレーションテストの設定には、最小限の時間が使用されます。 球形の直径は、NISTSRMサイズ標準へのトレーサビリティで校正されています。 パーティクルカウンター標準は、15ミリリットル（mL）ボトルの脱イオン水溶液にパッケージされています。 球の密度は1.05g / cm3で、屈折率は1.59 @ 589 nmで、摂氏25度で測定されます。 パーティクルカウンター標準の各ボトルには、キャリブレーション方法とその不確実性の説明、および化学的および物理的特性の表を含む、NISTに対するキャリブレーションおよびトレーサビリティの証明書が含まれています。 ポリスチレンラテックスビーズは、販売後の便利な技術サービスとサポートのためにロット番号が付けられています。