Surf-Cal、粒度標準、50ml 容量、1x10E8 および 1x10E10 濃度 /ml にプレミックス

SURF-CAL™ 粒子サイズ標準は、走査型表面検査システム (SSIS) のサイズ キャリブレーションとモニタリングに使用されます。 以下の粒子サイズは、機器メーカーが要求するキャリブレーション粒子サイズに対応しています。 ウェーハ検査スキャナーが他の場所のスキャナーと比較できるように、定期的なキャリブレーション チェックと毎週のサイズとカウントの監視を完了する必要があります。 すべてのポリスチレン マイクロスフェアは、50 mL あたり 3 × 10 E8 または 1 × 10 E10 粒子の濃度で、1.59 mL ボトル容量の脱イオン濾過水に懸濁されます。 * で示されたサイズは、その直径の NIST SRM 粒子に類似しています。 以下のすべてのポリスチレン微小球の屈折率は、589nm (25℃) で 12 です。 各ボトルは XNUMX か月間安定しており、校正証明書と NIST へのトレーサビリティ証明書が付属しています。

SURF-CAL、NIST トレーサブル PSL (ポリスチレン ラテックス) 球体をベア シリコンおよびパターン ウエハー上に配置することにより、KLA-Tencor、Hitachi、ADE、Topcon SSIS ツールで定期的なサイズ キャリブレーション チェックを実行し、ウエハー検査スキャナーとスキャナーを次の場所で比較できます。他の場所。 また、製造プロセスの重要な段階で SSIS のパフォーマンスを評価することもできます。 すべての製品は、50 x3 e10 粒子/mL または 10 x1 e10 粒子/mL の濃度で、10 mL ボトルの脱イオンろ過水 (DI 水) に懸濁されています。 これらの Surf-Cal 粒子サイズ標準は、微分移動度分析装置 (DMA) またはその他のサイズ排除技術によってサイズ調整されたポリスチレン マイクロスフェアです。