Applied Physics 米国
ポリスチレンラテックスビーズ、粒度標準
Applied Physics 米国: PSL 球体、ポリスチレン マイクロ球体、粒子サイズ標準
Applied Physics 米国は、エアロゾル機器のキャリブレーション用の粒子サイズ標準として、PSL スフィアとポリスチレン ビーズを提供しています。 KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2、TopCon、ADE、Hitachi などのウェーハ検査ツールも、ポリスチレン ラテックス球体を使用してサイズ キャリブレーションを行う必要があります。 PSL スフィア、ポリスチレン マイクロスフィア、およびビーズは、20 nm ～ 10 ミクロンのサイズで提供され、それぞれのウェーハ検査システムおよびレーザー パーティクル カウンターのサイズ応答曲線を較正します。 20 nm から約 5 ミクロンまでの PSL 球体は、通常、レーザー粒子カウンターのサイズ応答を校正するために使用されます。 ポリスチレン マイクロスフェアは、KLA-Tencor Surfscan ツールおよび古い Tencor Surfscan ツールのサイズ応答を校正するために使用されるキャリブレーション ウエハー標準および粒子ウエハー標準を生成するために使用できます。
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ポリスチレンラテックスビーズは、電話で注文できます Applied Physics で（719）428-4042。
走査型表面検査システム、SSIS、特に KLA-Tencor と Hitachi と呼ばれるウェーハ検査システムは、PSL ウェーハ標準を使用して較正されます。PSL ウェーハ標準は、特定のサイズと狭いサイズ分布で PSL 球体が堆積されたプライム シリコン ウェーハです。 ウェーハ検査ツールは、300 mm、200 mm、150 mm のウェーハ表面の清浄度を検査するために使用されます。 ベア シリコンまたはフィルムが堆積された、ウェーハ表面。 SSIS は、PSL 球体と粒子の X/Y 位置を特定し、各欠陥のサイズを記述し、ウェーハ表面の全体的な粒子数を要約することができます。 Tencor 6200、6420、KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2、KLA-Tencor SP3 などの KLA-Tencor ウェーハ検査システムは、半導体業界全体でこの用途に使用されています。 トプコンには、3000、5000、および 7000 シリーズのウェーハ検査システムがあります。 Estek、ADE、Aeronca、日立も、さまざまなウェーハ検査システムを提供しています。 現在製造されているほぼすべての SSIS が、30 nm 以上の粒子サイズの感度で検出できるようになりました。 PSL 球体は、ウェーハ表面の粒子サイズ標準を表すために使用されます。 Applied Physics は、サイズ校正、HEPA フィルター テストなどのために 20 nm から 160 ミクロンまでの PSL Sphere サイズを提供します。PSL Sphere は、電話で注文できます。 Applied Physics で（719）428-4042。
PSL Spheresは、PSL Wafer Deposition Systemsで使用され、Particle Wafer Standardsとも呼ばれるPSL Wafer Standardsを生成します。 いずれの場合も、PSLウェーハ標準が作成された後、それはウェーハ検査システムに配置され、シングルレーザーSSISまたはデュアルレーザーSSISによってスキャンされます。 実際のPSLサイズ応答は、SSISサイズ応答と比較されます。 2300つのピークが一致しない場合、SSISをキャリブレーションする必要があります。事前に混合された高濃度PSL球体は、1XP2300システム、1 NPT-2300システム、2NPT-2300およびM3GXNUMXウエハー堆積システム用です。
PSLスフィア、1％濃度。
事前に混合されたPSL球は、サイズが単分散（50サイズ分布）の1mlボトルに入っており、約47nm〜950nmのサイズで提供されます。 このPSLソリューションは、ネブライザーまたはアトマイザー容器に直接注がれます。 事前混合は、すべての希釈が非常に均一な方法で達成されているため、ポリスチレンラテックスビーズを購入する便利な方法です。超音波トレイ。 混合されていないPSL材料は、15mlボトルで提供され、サイズは単分散（1サイズ分布）で、通常は1％濃度で提供されます。 これらのPSL球体は幅広いサイズで提供されますが、ここでは20nmから4umまでのサイズを提供しています。 PSL材料は適切な希釈に混合する必要があります。そうしないと、上記のPSLウエハー堆積システムのいずれかで堆積しようとすると効果的結果を提供するには濃縮または弱すぎます。 クリーンルームフォガーズリンク
